产品介绍
product introduction
晶圆高通量快筛平台是一款用于半导体制造领域的自动化检测设备，主要用于快速、精准地检测晶圆上电路的导通性能。设备通过机械臂自动搬运晶圆盘，结合CCD视觉定位和探针检测技术，实现高效批量检测，解决了传统检测效率低、人工干预多的问题，大幅提升晶圆检测的 throughput 和精度，满足半导体行业对高精度、高效率检测的需求。
产品特点
Product Features
高通量设计：支持批量检测，显著提升检测效率，满足大规模生产需求
自动化机械臂：实现晶圆盘的自动搬运，减少人工干预，降低操作成本
视觉定位：高精度视觉系统，快速定位检测点，确保检测准确性
自动检测：精准探针技术，高效完成电路导通性能检测
多通道容量：支持长时间连续作业，提升设备利用率
模块化设计：便于维护和升级，降低设备生命周期成本
实时数据处理：高效数据处理系统，实时反馈检测结果，提升生产管理效率
多规格兼容：支持多种晶圆尺寸和类型，适应多样化生产需求
产品参数
SPECIFICATION
| 参数&名称 | SAUH-WR晶圆高通量快筛平台 |
| 电 源 | 单相AC220V±3%，频率50HZ ，功率约3KW |
| 晶 圆 盘 | 一拖四，可放四片直径150mm晶圆片 |
| 储 存 架 | 10层，可放10个晶圆盘 |
| 机 械 臂 | 6轴机械臂 |
| 测试压力 | 5g |
| 检测定位 | 视觉检测系统 |
| 设备尺寸 | 约长1350mm×宽900mm×高700mm |
| 设备重量 | 约300KG |
应用场景
Application scenarios
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工艺优化
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电池设计
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材料研发